半導体

クラウド、ビッグデータの出現、3D-NANDなどの新型チップの工業化は半導体業界に対し、大きなインパクトを与えました。
ダイキンは、これまで培ってきたフッ素技術を活かし、半導体業界が要求する目標やパフォーマンス向上のためのソリューションを提供し続けます。

トレンド

クラウドやビッグデータへの対応のため、データセンターの普及が進んでおり、従来のハードディスク代替としてSSD(メモリ)が成長してきました。更に、今後はADAS(先進安全システム)や自動運転の普及により、車載用半導体も伸びると予測されています。


ダイキンは、半導体製造装置のチューブやバルブ・高純度のエッチング剤・シール材・エアフィルターなどで、これまで培った品質管理や生産技術のノウハウを活かし、厳しい生産環境に貢献します。

用途

Pipes for plant equipment

半導体装置用配管

配管材料には耐薬品性や高純度が求められます。フッ素樹脂 ネオフロンPFAはこうした環境に最適な材料です。

Exhaust duct and Heat exchanger

排気ダクトと熱交換器

ダイキンのフッ素塗料は難燃性と耐薬品性に優れたコーティング剤で、耐久性を向上させます。

Chemical tanks and containers

薬液容器・タンク

安全かつ高品質の薬液保存のために、高純度で耐薬品性に優れたフッ素樹脂のライニングシートが用いられます。

Etching Agents

エッチング剤

高いクリーン性が要求される製造工程で、高純度のエッチング剤が使用されています。

Sealing materials

シール材

半導体製造装置内のシール材として、高純度で耐薬品性に優れたパーフロゴムのOリングが用いられています。

ダイキンのソリューション

Fluoropolymers

フッ素樹脂

ダイキンの強み

・フッ素ポリマーの設計・重合技術を活かした豊富な品揃え(ポリマー組成×変性タイプ):特に、高純度製品・変性タイプが得意
・テクニカルサービス:評価・分析、加工指導などでユーザーサポート充実

主な機能

耐熱性、耐薬品性、耐候性、非粘着性、電気特性

Fluoroelastomers

フッ素ゴム

当社の強み
・フッ素ポリマーの設計・重合技術を活かした豊富な品揃え(ポリマー組成×架橋系):特に、パーオキサイド架橋とポリオール架橋が得意
・テクニカルサービス:評価・分析、加工指導などでユーザーサポート充実

主な機能:耐熱性、耐薬品性、耐油性、耐酸性、高温での圧縮永久歪み性

Fluoro Coatings

フッ素樹脂塗料

ダイキンの強み
・豊富な品揃え(水系、溶剤系、ゴム塗料、粉体塗料)
・ポリマー合成から塗料配合までの一貫開発・生産
・テクニカルサービス:評価・分析、加工指導などでユーザーサポート充実

主な機能

離型性・非粘着性、耐熱性、耐薬品性、耐食性、低摩耗性

Coatings resins and additives

耐候性塗料用樹脂

ダイキンの強み
・豊富な品揃え(水系、溶剤系)
・橋梁、鉄塔、高層ビルなどの重防食塗料で多くの実績

主な機能

耐候性、耐薬品性、防汚性

Semicon etching agents

半導体用エッチング剤

ダイキンの強み
・豊富な品揃え(ウェットタイプ、ドライタイプ)
・ドライタイプは粗ガスからの一貫生産:供給能力・品質安定
・世界トップレベルの高純度