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とは?
フッ素系液体『DAISAVE』シリーズはダイキンが開発した低GWPフッ素系液体の総称です。
熱的・化学的安定性に優れ、オゾン破壊係数ゼロ、洗浄性能に求められる低い表面張力、
低粘度、適度な溶解性、速乾性を兼ね備えた製品です。
また、『DAISAVE』は長期間の利用に適しているだけでなく、使用済の製品を回収・再生することも可能なため、
サーキュラーエコノミーに取り組む企業にも最適です。

パーティクル洗浄やリンス洗浄といった洗浄用途、フッ素系グリースやコーティング剤などの溶媒用途、
チラー用のクーラント液やヒートパイプおよびヒートポンプの作動液などの熱媒用途、
ドライクリーニングの溶剤用途、データセンター等の液冷における液浸用途など、
様々な業界のニーズに対応するために
ダイキンでは、同シリーズのラインアップを順次リリースしていく予定です。
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洗浄
ソリューション
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パーティクル洗浄における洗浄剤
精密電子部品や光学部品等の製造におけるパーティクルの付着は、製品の品質に著しく影響します。最近では、洗浄力の高いフッ素系洗浄剤を用いた浸漬超音波洗浄により付着した塵埃を製品から脱落させる方法が広く使われ始めています。
  • 低粘度で表面張力が小さいため狭い隙間にも浸透しパーティクルを除去できる。
  • 水やIPAと比べ流体密度が高いため同じ流速での衝撃力が高くなり洗浄力に優れる。
  • 豊富な超音波周波数を選択できるため製品へのダメージが少なく1液での洗浄も可能。
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リンス洗浄における洗浄剤
製品表面に付着した水滴を置換するリンス洗浄の工程では乾燥時間の短縮や品質の向上、設備のコストを抑えるためフッ素系洗浄剤で洗浄し乾燥させる洗浄方法が確立されています。特に、細かい穴や狭い隙間がある部品や高温で洗浄できない部品などの洗浄にはフッ素系洗浄剤がよく使われています。
  • 速乾性に優れるため均一な乾燥により水ジミを防止、乾燥歩留りの向上と乾燥時間の短縮ができる。
  • 低温乾燥が可能なため熱風乾燥と比べて製品への熱的影響を抑えることができる。
  • 高い材料適合性を有しており、製品への物理的影響を抑え幅広い部材の洗浄が可能。
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DAISAVE「SS-54」
DAISAVE「SS-54」は電子部品、光学部品、精密金属加工部品などの洗浄用途に使われる洗浄剤に適したフッ素系液体です。
特長
  1. オゾン破壊係数(ODP)がゼロ、地球温暖化係数(GWP)が低い(GWP=101(AR4))
  2. 引火点がなく取り扱いが容易
  3. 高い材料適合性により製品に対する熱的・物理的影響を抑え多くの基材に適応
  4. 低粘度、低い表面張力、高い溶解性により洗浄性能に優れる
  5. 速乾性に優れるため製品の品質と歩留まりの向上が期待できる
利用シーン
  • 光学レンズのピッチ・ワックス・保護膜洗浄
  • 液晶パネルのシール材・接着剤洗浄
  • CCD、CMOSイメージセンサーの水切り・乾燥
一般物性
項目分類 項目 SS-54
動作温度範囲 沸点 [℃] 54
凝固点 [℃] -92
電気特性 体積抵抗率 [Ω・m] 107
誘電率 8.9
熱特性 動粘度 [cSt] 25℃ 0.40
熱伝導率 [W⁄mk] 25℃ 0.081
比熱 [kJ⁄(kg・K)] 25℃ 1.31
密度 [g⁄mL] 25℃ 1.39
GWP 101
適応基材
樹脂 ABS、AS、エポキシガラス、PA6、PA66、PBT、PC、PE、PET、PF、POM、PP、PPE、PPS、PS、PVC、PTFE
ゴム クロロプレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ニトリルゴム、EPDM、ブチルゴム、天然ゴム
金属 マグネシウム、アルミニウム、チタン、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、モリブデン、銀、スズ、タンタル、タングステン、鉛、真ちゅう、SUS304、SUS316
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熱媒
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半導体製造工程における熱媒体
半導体製造において大量の熱を発生させるエッチング、成膜、イオン注入といった工程では、最近の工程の増加と複雑化の影響もあり温度管理要求がますます厳しくなっています。半導体の製造工程は使用温度帯も超低温から高温まで幅広いため、熱媒体としてフッ素系液体が広く使われています。
  • 使用可能温度範囲が広いだけでなく、熱伝導性が高く熱的安定性も優れるため幅広い温度管理要求に対応できる。
  • 絶縁性が高いことから電食を防止する効果も高く、装置・設備等のメンテナンス性を高めることができる。
  • 引火点がなく、不活性で化学的にも安定していることからクリーンルーム内の装置や設備にも適している。
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ヒートパイプ・ヒートポンプの作動液
産業機器や電化製品の多くに使われている熱伝導素子であるヒートパイプの作動液には、熱輸送量が大きく流動抵抗が小さいことが要求されます。安定性が高く一般的な材料との適合性にも優れるフッ素系液体は、長い期間にわたって使える作動液としても注目されています。
  • 密度が高く単位流量あたりの熱輸送量が大きいため熱伝導性に優れ、かつ熱安定性にも優れる。
  • 気液両相において低粘度であるため、作動液の流動抵抗を小さくできる。
  • 引火点がなく安定性がありウイックおよびコンテナ材料に対する適合性に優れる。
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DAISAVE「SS-110」/「SS-54」
DAISAVE「SS-110」/「SS-54」は半導体業界で用いられるチラー向けの熱媒体やヒートパイプやヒートポンプの作動液などに適したフッ素系液体です。
特長
  1. 幅広い使用可能温度範囲により様々な温度管理要求に対応できる
  2. 絶縁性が高く、安定性にも優れるため装置や設備、製品などとの適合性に優れる
  3. 低粘度、熱安定性、熱伝導性に優れるため熱輸送量が大きい
  4. オゾン破壊係数(ODP)がゼロ、地球温暖化係数(GWP)が低い
  5. 引火点がなく、取り扱いが容易
利用シーン
  • ドライエッチング装置の静電チャックの温度制御
  • 露光装置の光源ユニットの温度コントロール
  • イオン注入装置の熱媒体
  • ヒートパイプの作動液
  • ヒートポンプの作動液
一般物性
項目分類 項目 SS-110 SS-54
動作温度範囲 沸点 [℃] 110 54
凝固点 [℃] -130以下 -92
電気特性 体積抵抗率 [Ω・m] 1011 107
誘電率 2 8.9
熱特性 動粘度 [cSt] 25℃ 0.95 0.40
熱伝導率 [W⁄mk] 25℃ 0.064 0.081
比熱 [kJ⁄(kg・K)] 25℃ 1.03 1.31
密度 [g⁄mL] 25℃ 1.78 1.39
GWP 150以下 101
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溶媒
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フッ素系接点グリースの希釈
自動車や各種電子機器の電気接点であるスイッチには、接点表面の腐食や磨耗粉によるショートへの対策、大電流スイッチであれば炭化への対策、過酷な温度環境以下で利用する場合は低温から高温までフラットな温度特性、樹脂部品であれば材料適合性も求められることから、接点用潤滑剤としてフッ素系接点グリースが使われます。フッ素系接点グリースには薄く均一なセミウェット被膜の形成が求められることから、希釈にはフッ素系溶媒が利用されています。
  • 低粘度で表面張力が小さいため、浸透性と均一な濡れ性を生じさせることができる。
  • 速乾性があるため、潤滑面に導入された後に素早く乾燥させることができる。
  • 引火点がなく、取り扱いが容易なため有機溶剤中毒予防規則やPRTR法等にも該当しません。
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フッ素系コーティング剤の希釈
フッ素系コーティング剤はフッ素の持つ防湿、耐油、防汚、耐食、防塵、耐薬品性能などの性能を発揮するため、電子部品、精密部品、光学部品などに広く使われています。優れた溶解性を有し、取り扱い容易なフッ素系液体は、フッ素系コーティング剤の希釈に使用されます。
  • 表面張力が小さく、薄膜で安定した塗布が可能であり、精密コーティングにも適する。
  • 引火点がなく、塗布や換気の設備、照明などの電気設備類への防爆対応が不要。
  • 速乾性に優れるため、被膜形成までの時間を短縮できる。
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DAISAVE「SS-54」
DAISAVE「SS-54」はフッ素系グリース・オイルやフッ素系コーティング剤の希釈に適したフッ素系液体です。
特長
  1. オゾン破壊係数(ODP)がゼロ、地球温暖化係数(GWP)が低い(GWP=101(AR4))
  2. 引火点がなく、取り扱いが容易
  3. 低い表面張力によりフッ素系グリース、オイル、潤滑剤、ポリマー類を均一に溶解または分散
  4. 速乾性に優れるため塗布工程での歩留まり向上が期待できる
  5. 材料との適合性に優れる
利用シーン
  • フッ素系グリース・オイルの希釈溶媒
  • フッ素系コーティング剤の希釈溶媒
  • フッ素系材料の合成に用いる反応溶剤
一般物性
項目分類 項目 SS-54
動作温度範囲 沸点 [℃] 54
凝固点 [℃] -92
電気特性 体積抵抗率 [Ω・m] 107
誘電率 8.9
熱特性 動粘度 [cSt] 25℃ 0.40
熱伝導率 [W⁄mk] 25℃ 0.081
比熱 [kJ⁄(kg・K)] 25℃ 1.31
密度 [g⁄mL] 25℃ 1.39
GWP 101
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クリーニング
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ドライクリーニングの溶剤
ドライクリーニングでは、汚れ落ちだけではなく仕上がった生地の風合いや、クリーニング臭や溶剤残りによる化学やけどなどにも配慮する必要があります。蒸留再生することで常に新鮮な溶剤として使用できる溶剤としてフッ素系溶剤が使われています。
  • 引火点がなく、クリーニング設備の設置場所を選ばない。
  • 蒸留再生することで常に新鮮な状態にできるため、クリーニング臭を抑制できる。
  • 衣料への物理的影響が低いため軟らかい手触りで柔軟な仕上がりとなる。
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DAISAVE「SS-54」
DAISAVE「SS-54」はドライクリーニングに使われる溶剤に適したフッ素系液体です。
特長
  1. オゾン破壊係数(ODP)がゼロ、地球温暖化係数(GWP)が低い(GWP=101(AR4))
  2. 引火点がなく取り扱いが容易なため設備の設置場所を選ばない
  3. 高い材料適合性により衣服の風合いを損なうことなく仕上げることができる
  4. 沸点が低く蒸留再生で繰り返し新鮮な溶剤として使用することができる
  5. 速乾性に優れるため溶剤が揮発しやすく短時間で乾燥ができ衣類にも溶剤が残りにくい
利用シーン
  • ドライクリーニングの溶剤
一般物性
項目分類 項目 SS-54
動作温度範囲 沸点 [℃] 54
凝固点 [℃] -92
電気特性 体積抵抗率 [Ω・m] 107
誘電率 8.9
熱特性 動粘度 [cSt] 25℃ 0.40
熱伝導率 [W⁄mk] 25℃ 0.081
比熱 [kJ⁄(kg・K)] 25℃ 1.31
密度 [g⁄mL] 25℃ 1.39
GWP 101
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フッ素系液体『DAISAVE』シリーズ
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