技術レポート
06/2022
SEMI 2021 講演
半導体デバイスの製造工程における高度な汚染物質管理の課題について － 材料科学の観点より
濱田博之
ダイキン工業株式会社
化学事業部 商品開発部
SEMI 2021会議において、半導体デバイス製造工程の高度な汚染物質管理の課題について、材料科学の観点から講演を行いました。
コンテンツ
- - 薬液処理工程におけるフッ素樹脂PFAのライフサイクル
- - 半導体ウェハ製造工程における汚染の分類
- - 溶出金属イオンによる汚染
- - 微小粒子による汚染
- - 総括
（以下、資料一部抜粋）
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