ダイエル パーフロ
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パーフロゴム（FFKM）は、最高レベルの耐熱性と耐薬品性を兼ね備えたフッ素系ゴムです。 フッ素ゴムを超える耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性を発揮します。 半導体製造プロセス、各種ケミカルプラント、オイル＆ガス分野など、過酷な環境下で使用されるOリング、ガスケットなどに最適な材料として、装置の安定稼働とプロセスの高信頼化に貢献します。
用途に応じたグレードをラインアップし、お客様の要求に合ったシールソリューションを提供します。
概要
特長
・圧倒的な耐薬品性：酸・アルカリ・アミン・溶剤・燃料・ケトン・エステルなど、FKMが劣化する薬品に対しても、FFKMは膨潤・劣化が少なくシール性能を長期間維持します。
・優れた耐熱性：200〜300℃の高温で連続使用が可能で、特殊グレードでは 300℃以上にも使用でき、高温下でも弾性を保ちます。
・高いクリーン性：高純度であるので、半導体製造装置など高度なクリーン環境に適しています。
・優れた耐プラズマ性：専用グレードはプラズマエッチングや製膜プロセスにも対応します。
・ シール性能の持続：耐圧縮永久歪み性に優れ、シーリングフォースの保持により長期にわたり漏れを抑制します。
用途
・半導体製造装置：チャンバー、ゲートバルブなどプラズマや薬液に侵される重要部位のシール材
・化学・石油プラント：強腐食性薬品を扱うポンプ・バルブ・配管などのガスケット・シール材
・分析機器・医療機器： 高純度かつ高い耐薬品性が求められる流体経路のシール材
品番・特長
| 品番 | 連続使用目安温度(℃) | 特長 |
|---|---|---|
| GA-100 | 200 | 汎用グレード。耐圧縮永久歪み性が良好で、クリーン性が非常に優れています。 |
| GA-105 | 200 | GA100の高機能グレード。耐圧縮永久歪み性に優れており、クリーン性が非常に優れています。 |
| GA-500001 | 300 | 超耐熱グレード。耐圧縮永久歪み性だけでなく、クリーン性や耐アミン性にも非常に優れています。 |